测试原理
显微努氏硬度(HK)通过四棱锥金刚石压头在极小载荷(如10gf~1000gf)下压入材料表面,测量压痕对角线长度(d),计算硬度值:
HK=14229×F/d²
(F为载荷,单位N;d为长对角线长度,单位μm)。
优势:适用于微小区域(如涂层、薄膜、晶粒)、脆性材料(陶瓷、玻璃)及低硬度材料(软金属、塑料)。
典型应用
材料研发:分析金属镀层、陶瓷涂层、半导体材料的硬度梯度。
失效分析:检测焊接接头、热影响区的局部硬度变化。
质量控制:验证表面处理工艺(如渗碳、氮化)的硬化层深度。
二、操作前准备
设备检查
压头状态:确认金刚石压头无崩角、裂纹,曲率半径≤0.2μm(高精度测试需≤0.1μm)。
物镜校准:使用标准硬度块(如已知HK值的熔融石英)校准显微镜放大倍数与压痕测量系统。
载荷验证:通过砝码或传感器校验实际载荷与设定值误差≤±1%。
试样要求
表面处理:抛光至Ra≤0.05μm,避免划痕干扰压痕测量。
尺寸要求:厚度≥10倍压痕深度(如10gf载荷下压痕深度约1μm,试样厚度需≥10μm)。
支撑刚度:软质材料需背面贴合刚性基底(如玻璃片),防止测试时弯曲。
三、测试操作流程
参数设置
载荷选择:根据材料硬度选择载荷(如硬质陶瓷用100gf,软金属用10gf)。
保荷时间:通常10~15秒(脆性材料可延长至30秒,避免弹性恢复影响结果)。
测试步骤
对焦与定位:
切换至低倍物镜(如10×)快速定位测试区域。
切换至高倍物镜(如50×或100×)精细对焦,确保压头清晰可见。
加载与测量:
启动加载程序,自动施加载荷并保荷。
卸载后,通过显微镜目镜或软件测量压痕长对角线长度(精确至0.1μm)。
重复测试:同一区域至少测试5次,压痕间距≥3倍对角线长度,取平均值。

四、显微努氏硬度计的精度控制与误差规避
常见误差来源
压头磨损:长期使用后压头变钝,导致硬度值偏低(需定期更换压头)。
试样倾斜:表面与压头不垂直,压痕呈椭圆形,测量误差可达±5%。
环境振动:测试台未隔离振动,载荷波动导致压痕深度不稳定。
精度提升方法
每日校准:使用标准硬度块验证设备,记录校准数据并修正偏差。
防震措施:将硬度计置于气浮平台或防震台,避免人员走动干扰。
软件辅助:采用图像分析软件自动识别压痕轮廓,减少人工测量误差。
五、结果分析与报告
硬度值修正
试样厚度修正:若试样厚度不足,需根据公式修正硬度值(如ISO4545标准提供的修正表)。
压痕形状修正:非理想压痕(如边缘效应、裂纹)需排除或重新测试。
报告规范
标注测试条件:载荷(gf)、保荷时间(s)、物镜倍数、压头类型。
提供压痕显微照片及测量数据,确保结果可追溯。
六、维护与保养
日常维护
清洁:测试后用无尘布蘸酒精擦拭压头、物镜及工作台,避免树脂或金属碎屑残留。
防尘:长期停用时套上防尘罩,防止灰尘进入光学系统。
定期保养
润滑:每季度为升降丝杠涂抹耐高温润滑脂,确保运动顺畅。
校准:每半年送检至计量机构,验证载荷、位移及硬度测量精度。
七、安全注意事项
压头保护:操作时避免触碰压头,更换压头需使用专用工具。
激光辅助(如有):部分设备配备激光定位,禁止直视激光光源。
电气安全:确保设备接地良好,避免漏电风险。